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Piezoaktoren als Antriebe in echtzeitfähigen Autofokus-Systemen

Piezoaktoren als Antriebe in echtzeitfähigen Autofokus-Systemen

Viele großflächige Objekte müssen bei einer Qualitätskontrolle auf winzige Details untersucht werden, die nur unter dem Mikroskop erkennbar sind. In der Halbleiter- und Elektronikfertigung ist der Bedarf an mikroskopischen Prüfverfahren aufgrund des Miniaturisierungsgrades besonders groß. Konventionelle Mikroskopie-Verfahren können jedoch nicht mit der Geschwindigkeit der heute üblichen Automatisierungstechnik Schritt halten. Der Einsatz von Hochdurchsatz-Mikroskopiesystemen soll jetzt Abhilfe schaffen.

Piezoaktoren als Antriebe in echtzeitfähigen Autofokus-Systemen

BIld: Physik Instrumente


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Veröffentlicht von

Dirk Schaar

Ich bin seit mehr als 20 Jahren in Automatisierung und Antriebstechnik unterwegs, weil mich die Technik-Themen immer wieder faszinieren und begeistern. Ich möchte meine Entdeckungen, Erlebnisse und Recherchen gerne mit meinen Lesern teilen - informativ, tiefgreifend, spannend, menschlich, lesenswert und charmant.

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