Piezoaktoren als Antriebe in echtzeitfähigen Autofokus-Systemen

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Viele großflächige Objekte müssen bei einer Qualitätskontrolle auf winzige Details untersucht werden, die nur unter dem Mikroskop erkennbar sind. In der Halbleiter- und Elektronikfertigung ist der Bedarf an mikroskopischen Prüfverfahren aufgrund des Miniaturisierungsgrades besonders groß. Konventionelle Mikroskopie-Verfahren können jedoch nicht mit der Geschwindigkeit der heute üblichen Automatisierungstechnik Schritt halten. Der Einsatz von Hochdurchsatz-Mikroskopiesystemen soll jetzt Abhilfe schaffen.

Piezoaktoren als Antriebe in echtzeitfähigen Autofokus-Systemen

BIld: Physik Instrumente


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Redaktion ANTRIEBSTECHNIK

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