Schlagwort: Halbleiterindustrie

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3D-Mask-Aligner für Elektronik von morgen

Mikrometer-Präzision macht Miniaturwunder möglich

Ultrakompakte Präzision trifft auf innovative Technologie: Der 3D-Mask-Aligner MP700-3 von Steinmeyer Mechatronik arbeitet mit parallelkinematischem Aufbau, Direktantrieben und Luftlagerung für die berührungslose Positionierung.

Unterstützt virtuelle Drehpunkte

5-Achs-Aligner für die Halbleiterindustrie

Lösung für die optische und aktive Ausrichtung: Steinmeyer Mechatronik stellt das neue 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem vor. Es besteht aus dem Tripod MP200-3 und dem XY-Kreuztisch KDT235 – beide mit Durchlichtöffnung.

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