Lösung für die optische und aktive Ausrichtung: Steinmeyer Mechatronik stellt das neue 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem vor. Es besteht aus dem Tripod MP200-3 und dem XY-Kreuztisch KDT235 – beide mit Durchlichtöffnung. Die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme sind somit in einem Produkt vereint worden.
Das Positioniersystem arbeitet hochpräzise über den gesamten Verfahrweg, benötigt nur wenig Bauraum und ist einfach ansteuerbar. Es hat die Abmessungen 235 x 235 x 170 mm (L x B x H). Das System realisiert Verfahrwege in XY von 100 mm, einen Hub von 4 mm sowie Kippungen in Phi und Delta von 4 Grad und überzeugt mit einer absolut gleichbleibenden Wiederholgenauigkeit über alle Freiheitsgrade. Die drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen des Tripods sind mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen. Ein gehärteter und geschliffener Gleitgewindetrieb von Feinmess Suhl mit einem Spindeldurchmesser von 5 mm und einer Gewindesteigung von 0,5 mm ermöglicht feinste Zustellbewegungen.
Vielfältig einsetzbar in der Halbleiterindustrie
Ob optische und aktive Ausrichtung, hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, 3D-Imaging, Interferometrie, Autofokus-Systeme oder Halbleitertests: Das Positioniersystem ist in der Halbleiterindustrie vielfältig einsetzbar und eignet sich auch für nicht rotationssymmetrische Teile. Von Vorteil sind außerdem die virtuellen Drehpunkte, die an einer beliebigen Stelle in die Werkstückoberfläche gesetzt werden können. Damit lässt sich der Drehpunkt in die optische Funktionsfläche legen und das Inspektionsobjekt aus verschiedenen Winkeln betrachten.
Quelle: Steinmeyer Mechatronik
