Mit dem 3D-Mask-Aligner MP700-3 bietet Steinmeyer Mechatronik eine innovative, industrietaugliche und skalierbare Positionierlösung für die Elektronik- und Halbleiterindustrie. Das parallelkinematische System mit Luftlagern und Direktantrieben arbeitet partikel- und wartungsfrei und ermöglicht eine sehr hohe Präzision.
Das System überzeugt durch die äußerst flache Bauweise und hohe Dynamik. Der MP700-3 ist ein Aligner mit einer Apertur von 730 x 730 mm für die hochpräzise Ausrichtung und Positionierung von großen Substraten, Masken, Rahmen, Sieben und Druckplatten in partikelarmer Umgebung. Das Mehrachssystem verfügt über einen beweglichen Rahmen, der von drei identischen Modulen getragen wird. Die Lösung realisiert zwei translative Bewegungen von ±5 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von ±3°. Nach dem Prinzip der Parallelkinematik ergibt sich die Gesamtbewegung aus den Einzelbewegungen der drei Antriebseinheiten. Dies sorgt für eine hohe Wiederholgenauigkeit von bis zu 0,4 µm oder ±0,0002° bei Lasten bis zu 28 kg sowie eine besonders flache Bauweise mit Abmessungen von 990 x 1.090 x 225 mm.
Innovativer Aufbau
In jedem Antriebsmodul sind poröse Luftlager aus Graphit, ein hochdynamischer elektronisch kommutierter Linearmotor und ein induktives Feedbacksystem auf Basis einer Maßverkörperung integriert. Mithilfe der Luftlager kann eine sehr hohe Steifigkeit erreicht werden. Sobald der Messkopf in Position gebracht ist, wird die Luft aus den Lagern gelassen und das System durch seine interne Vorspannung fixiert. Linearantriebe und Schrittweiten im Submikrometerbereich gewährleisten einen hohen Durchsatz sowie stabile Prozesse auf kleinem Bauraum. Alle Kabel und Schläuche für die Datenkommunikation sowie die Luft- und Energiezuführung sind fest verbaut. Das System arbeitet zu 100 Prozent partikelfrei, ist wartungsfrei und hat eine nahezu unbegrenzte Lebensdauer.
Alle Parallelkinematiken liefert der Positionierspezialist aus Dresden vollständig montiert, ausgestattet mit der notwendigen Steuerung und getestet nach kundenindividuellen Kriterien. Der 3D Mask-Aligner MP700-3 kann in vielen Anwendungen der Elektronik- und Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen, wie zum Beispiel in den Bereichen Leiterplattenfertigung, UV-Drucker, Halbleiterinspektion, Halbleiter-Justage, Ausrichtung von Proben, Analyse, Auf- und Durchlichtmessungen, Transfermessungen sowie Elektronikfertigung.
Quelle: Steinmeyer
