Für Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung hat Steinmeyer Mechatronik ein kompaktes Gantry-System entwickelt, das sehr hohe Präzision im Submikrometerbereich mit langen Verfahrwegen und hoher Dynamik kombiniert. Die Lösung ist besonders für Laseranwendungen geeignet.
Das Gantry ermöglicht dynamische Bewegungen über eine Fläche von 1.000 x 800 mm bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm und stellt hohen Durchsatz bei gleichbleibender Qualität sicher. In der XY-Ebene sorgen integrierte Linearmotoren für Prozessgeschwindigkeiten von 500 mm/s, auf der Z-Achse erzielt der AC-Servo Werte bis 200 mm/s. Der kundenspezifische Bearbeitungskopf oder Sensor an der Z-Achse bewegt sich schnell und gleichmäßig über die Träger auf dem Granit. Die Traverse ist für Lasten bis 10 kg ausgelegt, die Höhe kann dabei je nach Anwendung und Bauteilhöhe bis 500 mm variieren.
Text-/Bildquelle: Steinmeyer Mechatronik
