Flache Parallelkinematik
Aligner ermöglicht präzise Justage mit hohem Durchsatz
Mit dem 3D-Mask-Aligner MP700-3 bietet Steinmeyer Mechatronik eine innovative, industrietaugliche und skalierbare Positionierlösung für die Elektronik- und Halbleiterindustrie. Das parallelkinematische System mit Luftlagern und Direktantrieben arbeitet partikel- und wartungsfrei und ermöglicht eine sehr hohe Präzision.

