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Positionierlösung

6-Achs-Manipulator für die Halbleiterinspektion

12.10.2023
von Redaktion ANTRIEBSTECHNIK
6-Achs-Manipulator für die Halbleiterinspektion

Der 6-Achs-Manipulator von Steinmeyer Mechatronik kombiniert einen Kreuztisch mit einem Tripod und erzielt dadurch laut Hersteller ein Höchstmaß an Präzision, Steifigkeit und Kompaktheit.

Vor dem Vermessen bzw. Bearbeiten müssen Wafer und Optiken mikrometergenau ausgerichtet werden. Das erfordert kompakte Positionierlösungen, die kleine Stellwege von wenigen Millimetern beziehungsweise Grad zuverlässig und hochgenau realisieren.

Die kartesische XY-Verstellung realisiert Verfahrwege von ±15 mm, die Vertikalachse des Tripods ist für Hübe von ±10 mm ausgelegt. Die rotatorischen Achsen Rx und Ry ermöglichen Kippungen um ±2°, die Drehung um die vertikale Rz beträgt 360°. Dank der Wiederholgenauigkeit von ±2,5 µm bzw. ±0,005° lassen sich präzise Alignment-Ergebnisse erzielen – und dies bei Lasten bis 15 kg.

Der Manipulator verfügt über eine zentrale Durchlichtöffnung von 250 mm und kann für das Ausrichten von Wafern und Optiken bis 300 mm/12″ eingesetzt werden. Ausführungen für den Reinraum sind erhältlich. Die Anbindung erfolgt via EtherCAT, CAN, Ethernet oder Profibus. Je nach Maschinenumgebung können Motion Controller für Beckhoff, ACI oder Siemens integriert werden. Vorbereitete Softwareschnittstellen und Bibliotheken für alle gängigen Industriesteuerungen und Hochsprachen (API) sind verfügbar.

 

Text- und Bildquelle: Steinmeyer Mechatronik

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