Mit der Telica-Plattform hat die Schweizer Etel S.A. mit Linearführungen von NSK ein Doppel-Portal-Bewegungssystem für die Halbleiterfertigung entwickelt. Das System kombiniert hohen Durchsatz und Genauigkeit.
Die mechanische Architektur der Telica-Plattform besteht aus einem Doppelportalsystem, das Bewegungen in drei Freiheitsgraden für eine Gesamtzahl von acht gesteuerten Achsen ermöglicht. Das System erreicht Verfahrgeschwindigkeiten von 120 m/min in der x- und y-Achse sowie 60 m/min in der z-Achse. Die maximale Beschleunigung beträgt 4 g (x-Achse), 6 g (y-Achse) und 7,5 g (z-Achse), die x-y-Wiederholgenauigkeit nach einer Bewegung der z-Achse liegt bei ±0,25 µm oder besser.
Damit sind Durchsatzgeschwindigkeiten von bis zu 10.000 Einheiten pro Stunde und eine Positioniergenauigkeit von unter 1 µm möglich. Etel setzt hier NH-Linearführungen ein, die über eine hohe Präzision und Wiederholgenauigkeit bei niedrigen und hohen Geschwindigkeiten verfügen.
Quelle: Etel S.A.
