Steinmeyer Mechatronik hat mit dem MP220-4 ein kompaktes XYZ Tip-Tilt Positioniersystem für optische und aktive Ausrichtprozesse in der Halbleiter- und Optikfertigung vorgestellt. Das System kombiniert lineare Bewegungen in X und Y mit rotativen Korrekturen um die X- und Y-Achse (Rx/Ry) und ist für industrielle 24/7-Anwendungen ausgelegt. Es erreicht eine Wiederholgenauigkeit von ± 0,5 µm (linear) bzw. ± 0,003° (rotatorisch) und trägt Lasten bis 10 kg. Die Baugröße beträgt 235 × 220 × 100 mm, die offene Apertur hat einen Durchmesser von 45 mm. Die Kardan-Kinematik auf einer XY-Apertur-Stage wird durch vier hochauflösende Präzisionsachsen mit Gleitgewindetrieben von Feinmess Suhl realisiert. Die Lastplatte kann in zwei Achsen um jeweils 4° gekippt werden, der XY-Verstellweg beträgt bis zu 20 mm, davon 10 mm rein lateral.
Das System ist für Active-Alignment-Prozesse, Durchlichtmessungen und optische Messungen mit aktivem Strahlpfad ausgelegt. Die offene Bauweise unterstützt optische Pfade für DUV- und EUV-Beleuchtung und sorgt für mechanische Stabilität bei Mehrschicht- und Packaging-Anwendungen. Optional sind Varianten für Reinraum (bis ISO 4), Vakuum (bis 10E-6 mbar), UV/DUV-Strahlung sowie eine zusätzliche Drehachse verfügbar. Das System lässt sich direkt in Inline-Produktions- oder Teststationen integrieren und ist für OEM-Anpassungen skalierbar.
Quelle: Steinmeyer Mechatronik GmbH
