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Antrieb für Pick-and-place-Anwendung in der Halbleiterindustrie

Antrieb für Pick-and-place-Anwendung in der Halbleiterindustrie

Anlagen der Halbleiterindustrie arbeiten mit Taktzeiten von einer Sekunde und weniger. Deshalb wird von den Pick-and-Place-Einheiten hohe Dynamik verlangt. NSK hat im Auftrag eines Herstellers von Bestückungsanlagen einen vorhandenen Linearmotor durch eine Kombination von Kugelgewindetrieb und Miniatur-Linearführung ersetzt. Das Ergebnis: Die Dynamik konnte deutlich gesteigert werden. Die Pick-and-Place-Einheit der Bestückungsanlage greift Halbleiter und platziert sie in einem Gehäuse, wo sie weiterverarbeitet oder verklebt werden. Dabei führt die Einheit jeweils ein Hub von 40 mm aus und erreicht eine Geschwindigkeit von 2,5 m/sec.

Der Linearmotor, den der Anlagenhersteller für diese Aufgabe verwendete, war bei diesen Werten am Limit seiner Leistungsfähigkeit. Der Hersteller beauftragte NSK mit einer alternativen Konstruktion. Die Ingenieure schlugen eine Kombination aus Kugelgewindetrieb der BSS-Serie und den Miniatur-Linearführungen der Serie PU vor. Diese Miniaturführungen wurden für anspruchsvolle Anwendungen z. B. in Geräten der Medizintechnik oder eben in der Halbleiterindustrie entwickelt. Konstante Reibungsverhältnisse ermöglichen eine gleichförmige Bewegung, eine verbesserte Dichtung verhindert, dass Abrieb in die Umgebung gelangt. Damit eignet sich die Baureihe – die Verwendung eines entsprechenden Schmierstoffs vorausgesetzt – auch für Reinraum-Anwendungen.

www.nsk.com

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Veröffentlicht von

MK Krueger

Ob Industrie 4.0, Predictive Maintenance oder Condition Monitoring: Aktuelle Themen und Trends der Branche aufzugreifen, zu recherchieren und zu vermitteln – das ist es, was mich als Redakteurin der antriebstechnik so begeistert.

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